賽奧特(SAT)/等離子清洗機(jī)廠家/SAT 100
一 應(yīng)用領(lǐng)域
賽奧特(SAT)/等離子清洗機(jī)廠家/SAT 100適用于材料科學(xué)、光學(xué)、光電子學(xué)、生命科學(xué)、電子學(xué)、生物醫(yī)學(xué)、半導(dǎo)體、高分子科學(xué)、微觀流體學(xué)等領(lǐng)域.
二 主要實(shí)驗(yàn)應(yīng)用
1.表面清潔 2.表面活化 3.鍵合 4.去膠 5.金屬還原 6.簡(jiǎn)單刻蝕 7.去除表面有機(jī)物 8.疏水實(shí)驗(yàn) 9.沉積實(shí)驗(yàn) 10.形成新的基團(tuán) 11.鍍膜前處理等
三 技術(shù)特點(diǎn)
1.實(shí)時(shí)檢測(cè)和顯示真空度,使得設(shè)備在智能控制下有了可靠的依據(jù).
2.真空值可自由設(shè)定,(范圍:10—60帕)為外加氣體提供了可靠的輝光啟動(dòng)環(huán)境,為輝光純度提供了有利的保障,保證了實(shí)驗(yàn)效果的準(zhǔn)確性和可靠性.
3.真空腔體采用鉸鏈側(cè)開(kāi)門(mén)結(jié)構(gòu),帶有觀察窗,材料為6061材質(zhì).
4.腔體、管路、閥體全部為不銹鋼材料.
5.電容式(CCP)激發(fā),實(shí)驗(yàn)效果穩(wěn)定,均勻可靠,電極板置于樣品倉(cāng)內(nèi)頂部懸掛.
6.采用觸摸屏顯示控制,手動(dòng),自動(dòng)兩種模式任意切換.
7.程序化設(shè)計(jì),預(yù)先編輯好程序,儀器自動(dòng)完成實(shí)驗(yàn).
8.利用氣體電離后產(chǎn)生的等離子體的反應(yīng)活性與材料表面發(fā)生的物理或者化學(xué)反應(yīng),使材料表面成分、組成和結(jié)構(gòu)發(fā)生變化,并能得到某些特定的基團(tuán)。
9.無(wú)需耗材,使用成本低,無(wú)需特殊進(jìn)行維護(hù),在日常使用中保持儀器清潔即可。
四 技術(shù)規(guī)格
1.樣品腔體尺寸:255(深度)X100(直徑)mm ,不銹鋼材質(zhì).
2.放置樣品托盤(pán)尺寸:95(寬)X230(長(zhǎng))mm,材質(zhì):6061鋁氧化本色
3.射頻頻率:40KHz。
4.射頻功率:200W,0到200W可調(diào),精度:1瓦.
5.輝光放電功率:10W--200W
6.輝光放電時(shí)間設(shè)定:1秒到99分59秒.
7.氣路設(shè)置:2氣路(1路進(jìn)氣,一路放空).
8.工作氣體穩(wěn)定時(shí)間:可調(diào),可設(shè)定,范圍:0--180秒.
9.進(jìn)氣控制:壹路浮子流量計(jì)控制.
10.工作氣體:空氣\氮?dú)鈂氬氣\氮?dú)浠旌蠚鈂氬氦混合氣等均可; 也可接入無(wú)腐蝕性、無(wú)毒的工作液體溶液,例如:六甲基二硅氧烷(HMDSO),接入工作液體需要選配接枝儀來(lái)配套使用。
11.進(jìn)氣壓力:通入空氣時(shí)常壓,接入鋼瓶時(shí),鋼瓶進(jìn)氣壓力調(diào)整到0.1-0.2Mpa
12.供電電源:~220V/50Hz
13.外形尺寸(寬*深*高)mm:456X493X248mm
14.整機(jī)重量(約):20Kg
五 真空泵
標(biāo)準(zhǔn)配置為機(jī)械油泵:1)抽速:2升/秒 2)極限壓強(qiáng):6*10-2帕 3)噪音;≤66db 4)抽氣KF16法蘭接口,排氣口KF25接口 5)電源線為陰插線
六 基本配置
主機(jī)+真空系統(tǒng)(雙極機(jī)械真空油泵、油霧過(guò)濾器、真空管、KF16法蘭)、外加氣體軟管、樣品托盤(pán)、說(shuō)明書(shū)、電源線、合格證
七 選配件
(一)機(jī)械油泵 型號(hào):VRD-8
1.抽速:2.2升/秒 2.極限壓強(qiáng):≤5*10-2帕 3.噪音;≤56db 4.工作環(huán)境溫度:5—45
(二)干泵(1) 型號(hào):GWSP150
1.抽速:2升/秒 2.極限壓強(qiáng):≤6帕 3.噪音;≤57db
4.工作環(huán)境溫度:5--45℃
干泵(2) 型號(hào): SPH10
1.抽速:2.8升/秒 2.極限壓強(qiáng):≤2帕 3.噪音;≤55db
4.工作環(huán)境溫度:5--45℃
八 操作過(guò)程
1.確認(rèn)配件完好:在開(kāi)始操作之前,需要確保所有配件如氣體、氣管、密封性和電源等都已正確安裝且匹配。
2.打開(kāi)設(shè)備并檢查:打開(kāi)設(shè)備,進(jìn)入操控面板,系統(tǒng)會(huì)對(duì)設(shè)備進(jìn)行檢查。如果沒(méi)故障警報(bào),可以進(jìn)入下一步。
3.設(shè)置配方:進(jìn)入配方界面,確認(rèn)配方信息,包括氣體類型、氣壓、處理時(shí)間、功率等參數(shù)。確認(rèn)無(wú)誤后,進(jìn)入下一步。
4.啟動(dòng)設(shè)備并進(jìn)行處理:?jiǎn)?dòng)設(shè)備,設(shè)備會(huì)開(kāi)始抽真空,并進(jìn)行表面處理工序。處理完成后,等待設(shè)備破空,然后取出處理過(guò)的產(chǎn)品。
5.檢查處理效果:產(chǎn)品處理完成后,確認(rèn)處理效果是否正確。如果處理效果滿意,可以將產(chǎn)品放入下一道工序中。
6.關(guān)閉設(shè)備:在一天的工作結(jié)束后,關(guān)閉設(shè)備,并確保所有閥門(mén)和電源都已關(guān)閉。